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      2. 產品詳情
        • 產品名稱:多源真空蒸發鍍膜儀

        • 產品型號:
        • 產品廠商:成越科儀
        • 產品文檔:
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        簡單介紹:
        高真空蒸發鍍膜儀還適用于對氧敏感的金屬薄膜(如Ti、Al、Au等)的蒸鍍,也適用于各種氧化物材料的蒸鍍
        詳情介紹:

        本設備為多源高真空蒸發鍍膜儀,設備采用前開門式真空腔體設計,腔體空間大,可拓展性強,能夠滿足多樣式大尺寸樣品的蒸發鍍膜。腔體內配有上置樣品臺,可根據用戶樣品樣式選取夾持或卡位式樣品安裝部件。樣品臺可旋轉、加熱及升降,所有操作均通過觸控屏集成控制。設備的真空泵組為兩級式真空系統,由雙極旋片真空泵和渦輪分子泵組成,可為真空鍍膜試驗提供清潔無油的高真空的環境;真空系統內含有完善的氣動閥系統,用戶可通過觸控屏進行一鍵式操作實現抽取真空、不停機取放樣、完全停機等操作。

        本設備的蒸發源共兩組,采取鎢舟蒸發源,水冷式銅電極,可*大支持300A的大電流,加熱溫度*高可達1800℃,可實現多種難熔金屬的蒸鍍。本設備采用一體化設計,腔體和電控部分左右分置,實現了水電分離,有力的保證了用戶的**。電控部分采用觸控屏和按鈕面板相結合的設計,真空系統、樣品臺等輔助功能通過觸控屏一鍵操作,通電蒸發、膜厚控制等通過面板獨立操作,在盡可能方便用戶的同時規避了誤操作的可能。該設備設計完善性能優越,是實驗室高精度蒸發鍍膜試驗的必備之選

        技術參數:

        多源高真空蒸發鍍膜儀

        樣品臺

        尺寸

        φ150mm樣品

        高度

        上下150mm可調

        蒸發源

        數量

        鎢舟x2

        真空腔體

         

        腔體尺寸

        φ350x600mm

        觀察窗口

        前置φ100mm含遮光片

        腔體材料

        304不銹鋼

        開啟方式

        前開門式

        膜厚控制

        晶振式膜厚測量儀,可選多通道膜厚控制儀

        真空系統

         

         

         

         

        前級泵

        雙極旋片泵

        抽氣接口

        KF16

        次級泵

        渦輪分子泵

        抽氣接口

        ISO160

        真空測量

        電阻+電離 復合真空規

        排氣速率

        機械泵1.1L/s 分子泵 600L/s

        極限真空

        1.0E-5Pa

        供電電源

        AC 220V 50/60Hz

        抽氣速率

        旋片泵:1.1L/S

        流量計

        可選一路質量流量計 500sccm Ar

        控制系統

        PLC自動控制  操作界面:觸控屏+操作面板

         

        其他

         

        供電電壓

        AC220V,50Hz

        整機尺寸

        1200mm X 900mm X 1500mm

        整機重量

        500kg

        整機功率

        5kW

        豫公網安備 41019702002438號

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