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      2. 產品詳情
        • 產品名稱:四靶磁控濺射鍍膜儀

        • 產品型號:
        • 產品廠商:成越科儀
        • 產品文檔:
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        簡單介紹:
        四靶磁控濺射鍍膜儀可用于制備單層或多層鐵電薄膜、導電薄膜、合金薄膜、半導體薄膜、陶瓷薄膜、介質薄膜、光學薄膜、氧化物薄膜、硬質薄膜、聚四氟乙烯薄膜等。該三靶磁控濺射鍍膜儀與同類設備相比,其不僅應用廣泛,且具有體積小便于操作的優點,是一款實驗室制備材料薄膜的理想設備
        詳情介紹:
        四靶磁控濺射鍍膜儀是我公司自主研發的一款高性價比磁控濺射鍍膜設備,具有標準化、模塊化、可定制化的特點。磁控靶有1英寸2英寸可以選擇,客戶可以根據所鍍基板的大小自主選購;所配電源為500W直流電源和500W射頻電源,直流電源可用于金屬薄膜的制備,射頻電源可用于非金屬膜的制備,三個靶可以滿足多層或者多次鍍膜的需要。若客戶有其他鍍膜需要,可以定制其他射頻電源和脈沖電源,各型電源均有300W到1000W多種規格可選。
        鍍膜儀配有兩路高精度質量流量計,客戶若另有需求可以定制至多四路質量流量計的氣路,以滿足復雜的氣體環境構建需求;儀器標配先進的渦輪分子泵組,極限真空可達1.0E-5Pa,同時另有其他類型的分子泵可供選購。分子泵的氣路由多個電磁閥控制,可以實現在不關泵的情況下打開腔體取出樣品,大大提高了您的工作效率。本產品可以選配一體機工控電腦對系統進行控制,在電腦程序上可以實現真空泵組的控制、濺射電源的控制等絕大多數功能,可以進一步提高您的實驗效率。
        四靶磁控濺射鍍膜儀可用于制備單層或多層鐵電薄膜、導電薄膜、合金薄膜、半導體薄膜、陶瓷薄膜、介質薄膜、光學薄膜、氧化物薄膜、硬質薄膜、聚四氟乙烯薄膜等。該三靶磁控濺射鍍膜儀與同類設備相比,其不僅應用廣泛,且具有體積小便于操作的優點,是一款實驗室制備材料薄膜的理想設備

         技術參數:

        鍍膜真空系統

        真空組件

        60m3/h前級機械泵加上KYKY1600L分子泵組成抽氣系統并配備高精度復合真空計進行測量并實時監測真空度;

        抽氣時間

        系統短時間暴露大氣并充干燥氮氣后,再開始抽氣,30分鐘內真空度≤5×10-4Pa,系統停泵關機12小時后真空度≤5Pa;

        極限真空

        ≤6×10-5Pa

        閥門組件

        預抽閥DN40,電動主閥CF200,DN16放氣閥,DN40電磁閥以及各種真空管路等(以上閥門皆為氣動或電動)

        真空自動恒壓

        設備運行可快速到達高真空,在工藝進氣后在達到需要的工作的真空度時可自動實時調整,保持穩定的真空度,對工藝流程高度還原,保證制備樣片的重復性。

        磁控濺射發生及控制反應系統

        鍍膜室極限真空

        ≤6×10-5Pa;系統真空檢漏漏率:≤8.0×10-7 Pa.l/S

        真空室尺寸

        500×500×420mm,真空室采用不銹鋼加工而成,側面抽氣前開門結構,前面設有可開啟門及觀察窗,方便更換樣品

        氣體種類

        需配氬氣、氮氣、氫氣、氧氣各一瓶

        基片尺寸以及功能組件

        可放置Φ4英寸(兼容小尺寸)的基片;基片旋轉范圍5~60/分可調;基片加熱溫度600±1℃,由熱電偶閉環反饋控制(即PID溫控)

        冷卻方式

        水冷

        濺射沉積及控制系統

        控制系統

        PLC+上位機軟件的鍍膜機控制系統

        工作進氣恒壓

        采用薄膜真空規進行測量

        測量范圍

        3Pa-0.013Pa

        靶尺寸、數量

        42英寸濺射靶

        靶間距

        四靶垂直向上濺射,靶與樣品距離可調

        電源

        2500W射頻濺射電源(自動匹配),2500W直流濺射電源,1500W偏壓電源(提高膜層的致密性和均勻性,且具有濺射清洗功能)

        工藝進氣組件

        2MFC質量流量計控制氣體流量(0-100SCCM,0-200 SCCM),**到0.1 sccm可調

        均勻性

        直徑4英寸圓片樣片片內膜厚均勻性≤3%,中心點與邊緣厚度誤差低于3%

         

        其他

         

         

        供電電壓

        AC220V,50Hz

        整機尺寸

        600mm X 650mm X 1280mm

        整機重量

        350kg

        整機功率

        4KW

        豫公網安備 41019702002438號

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