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      2. 產品詳情
        • 產品名稱:卷繞式高真空蒸發鍍膜儀

        • 產品型號:CY-EVP180G-1S-JR
        • 產品廠商:成越科儀
        • 產品文檔:
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        簡單介紹:
        卷繞式蒸發鍍膜儀可用于不同種類的材料的薄膜生長,大多數金屬和某些有機材料薄膜,如金屬、半導體、氧化物等
        詳情介紹:

        本儀器是一種高真空蒸發鍍膜儀,鎢絲籃(或鎢舟)用作蒸發源,并且樣品臺和蒸發源之間的距離是可調的。 該儀器可以穩定地蒸發金屬和某些有機物。 采用高真空不銹鋼腔體,密封性能好,真空性能好。 該腔室配有觀察窗,因此可以看到涂層過程。 采用分子泵系統的**真空10E-4Pa,可有效提高涂層質量,并能滿足大多數蒸發涂層實驗所需的真空環境。

        高真空熱蒸發鍍膜儀用途:

        卷繞式蒸發鍍膜儀可用于不同種類的材料的薄膜生長,大多數金屬和某些有機材料薄膜,如金屬、半導體、氧化物等。

        高真空熱蒸發鍍膜儀技術參數:

        供電電壓

        單相,AC220V, 50Hz

        內壁處理

        電解拋光

        腔體材料

        304不銹鋼

        腔體尺寸

        臥式Φ600mm×500mm

        觀察窗口

        前置φ100mm含遮光片

        開啟方式

        前開門式

        收放卷

        Φ200mmx300mm

        速度

        60m/min(可調)

        張緊

        可調

        部件數量

        1套金屬蒸發源,帶獨立擋板

        電極電壓

        10V

        送絲速度

        3m/min

        蒸發電流

        功率2KW,*大電流為160A,調節精度為1A

         

        蒸發器

        鎢舟,1

        前級泵

        雙極旋片泵,抽速1.1L/s

        渦輪分子泵

        抽速:600L/s;

        額定轉速:24000rpm;

        啟動時間:4.5min

        冷卻方式:水冷+空冷

        進氣接口:ISO150

        出氣接口:KF40

        真空度:5.0*10-4Pa (5.0*10-6mbar)

        抽真空到5.0×10-3 Pa (5.0*10-5mbar)的時間少于40分鐘

        復合真空計

        測量范圍 105Pa~10-5Pa

        測量精度

        0.1?

        測量速度

        100ms-1s/

        可設置測量范圍

        500000?(鋁)

        標準傳感器晶體

        6MHz

        適用晶體尺寸

        Φ14mm (標配10)

        空壓機

        作用于電控氣動閥

        水冷機

        冷卻水溫度:37

        流速:10L/min

        功率:0.1KW

        冷卻功率:50W/

        水箱容量:9L

        控制系統

        PLC自動控制

        操作界面:觸控屏+操作面板

        豫公網安備 41019702002438號

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