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      2. 產品詳情
        • 產品名稱:三靶向上磁控濺射鍍膜儀

        • 產品型號:CY-MSP500S-2DC-1RF
        • 產品廠商:成越科儀
        • 產品文檔:
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        簡單介紹:
        三靶磁控濺射鍍膜儀可用于制備單層或多層鐵電薄膜、導電薄膜、合金薄膜、半導體薄膜、陶瓷薄膜、介電薄膜、光學薄膜、氧化膜、硬薄膜、聚四氟乙烯薄膜等
        詳情介紹:

        三靶磁控濺射鍍膜儀是我公司自主研發的高性價比磁控濺鍍設備,具有標準化、模塊化、定制化的特點。該設備可用于制備單層或多層鐵電薄膜、導電薄膜、合金薄膜、半導體薄膜、陶瓷薄膜、介電薄膜、光學薄膜、氧化膜、硬薄膜、聚四氟乙烯薄膜等,三種靶材可以滿足多層或多層涂層的需要。與同類設備相比,三靶磁控濺射鍍膜儀不僅應用廣泛,而且具有體積小、操作方便等優點。它是實驗室制備材料薄膜的理想設備。

        三靶磁控濺射鍍膜儀技術參數:

        三靶磁控濺射鍍膜機(直流電源+射頻電源)

        樣品臺

        濺射模式

        濺射方向向上,樣品臺位于濺射靶上方;

        中心頂部設置樣品架,帶一個擋板;

        樣品臺

        φ150mm

        控制精度

        ±1

        加熱范圍

        室溫~500

        可調轉速

        1-20rpm可調

        靶基距離可調

        靶材和襯底之間的距離可以電動調節

         

         

        磁控靶槍

        靶面

        圓形平面靶

        濺射真空

        10Pa0.2Pa

        靶材直徑

        5050.8mm

        靶材厚度

        25mm

        注:如果靶是磁性材料(如Fe、Co、Ni),厚度不能超過1.5mm,需要強磁濺射靶槍,需要額外采購。

        絕緣電壓

        >2000V

        數量

        2 英寸*3;每個濺射靶槍上都有擋板

        電纜規格

        SL-16

        靶頭溫度

        65

         

        真空腔體

        內壁處理

         

        電解拋光

        腔體尺寸

        φ300mm × 350mm

        腔體材料

        304 不銹鋼

        觀察窗口

        石英窗,直徑φ100mm,帶擋板

        密封方法

        氟橡膠密封

        打開方式

        頂部開口,氣缸輔助支架

         

         

         

         

         

         

         

         

         

         

         

        氣體控制系統

        流量控制

        三通道質量流量計:

         

        氧氣:范圍0100SCCM

        氬氣:范圍0200SCCM

        氮氣:范圍0500SCCM

        (注意:為了實現更高的無氧環境,必須用高純度惰性氣體清潔真空室至少3次。)

        氣體類型

        氬氣、氮氣、氧氣和其他惰性氣體

        控制閥類型

        電磁閥

        控制閥靜態

        常閉

        測量線性度

        ±1.5% F.S

        測量重復性

        ±0.2% F.S

        測量響應時間

        ≤8 secondsT95

        工作壓力范圍

        0.3MPa

        閥體壓力

        3MPa

        工作溫度

        545

        閥體材料

        不銹鋼 316L

        閥體泄漏率

        1×10-8Pa.m3/s

        管道接頭

        1/4″壓縮接頭

        輸入和輸出信號

        05V

        電源

        ±15V±5%)(+15V  50mA,  15V 200mA

        外形尺寸(mm)

        130 () × 102 () × 28 ()

        通信接口Interface

        RS485 MODBUS 協議

        直流電源

        電源

        500W

        輸出電壓

        0600V

        *大輸出電流

        1A

        正時長度

        65000 S

        開始時間

        110 S

        數量

        2

        射頻電源

        電源

        500W

        功率輸出范圍

        0W-500W, 帶自動匹配

        *大反射功率

        100W

        RF頻率

        13.56MHz+/-0.005% 穩定性

        電源穩定性

        ≤5W

        諧波分量

        小于 -50dbc

        數量

        1

        整體的極限真空

        5×10-5Pa

        真空室增壓率

        2.5Pa/h



        豫公網安備 41019702002438號

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