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      2. 產品詳情
        • 產品名稱:全自動超聲波氣氛加熱勻膠機

        • 產品型號:CY-SPC-HUA12
        • 產品廠商:成越科儀
        • 產品文檔:
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        簡單介紹:
        超聲波氣氛加熱勻膠機是一款直徑300mm、靈活的旋轉勻膠設備,可通過超聲波噴頭把膠液噴灑在基片上,進而通過高速旋轉使得膠液均勻涂覆在基片上。加熱勻膠機也可以單獨進行旋涂操作
        詳情介紹:

        超聲波氣氛加熱勻膠機是一款直徑300mm、靈活的旋轉勻膠設備,可通過超聲波噴頭把膠液噴灑在基片上,進而通過高速旋轉使得膠液均勻涂覆在基片上。也可以單獨進行旋涂操作。腔體內布有加熱元件,可在勻膠后進行烤膠操作。產品帶有兩路浮子流量計控制的氣路,可將惰性氣體通入腔體內,在勻膠時保護膠液不收空氣中的氣體影響。 此款勻膠機適用于半導體硅片,載玻片,晶片,基片,ITO導電玻璃等工藝、制版的表面涂覆??蓜蚰zzui大圓晶尺寸為12英寸,轉速可達3000rpm,加速度可達2000rpm;具有轉速穩定,啟動迅速,操作方便等優點,并能保證勻膠厚度的一致性和均勻性,是一款性能優良的產品.

        加熱勻膠機產品特征:

        1. 采用直流無刷電機,單片機控制

        2. 高清晰觸摸屏控制

        3. 可進行單步多步勻膠操作,可存儲五種程序,每種程序可設置五步操作

        4. 防堵膠設計

        5. 鋁合金腔體,堅固耐用

        6. 帶有超聲波,氣氛,加熱等多種輔助功能,為勻膠研究進行多種輔助

        超聲波氣氛加熱勻膠機產品參數:

        產品名稱

        超聲波輔助氣氛勻膠機

        圓晶尺寸

        12英寸

        旋轉速度

        30~3000rpm可調

        旋轉加速度

        30~2000rpm/s可調

        單次zui長勻膠時間

        3000s

        勻膠腔體尺寸

        φ390mm*90mm

        電壓

        220V 50Hz

        功率

        1.5KW

        加熱溫度

        0-100

        質保時間

        易損件除外,1年,終身技術支持

        勻膠機真空吸盤

        12寸 一個(標配);6寸 一個(定制)

        勻膠機定制純機械卡盤

        12英寸 一個(額外定制);6英寸 一個(額外定制)

        無油真空泵

        型號:AP-2000V

        功率:0.55kw

        zui低真空度:-700mmHg;-92Kpa

        zui大空氣流量:200L/min;12M3/h

        重量:10kg

         

        超聲波系統

        霧化頭材質

        鈦合金

        頻率

        50kHz

        功率

        30W

        流量

        0.55mL/s

        微粒直徑

        25um

        霧化頭類型

        錐型

        霧化頭重量

        0.3kg

        超聲波電源尺寸

        315*312*135mm

        超聲波電源重量

        5kg

         

        注射泵

        流量范圍

        0.001uL/min-43.349mL/min

        掉電記憶工能

        保存設置參數,重新上電后,無需設置

        適用進樣器規格

        10uL-1000uL

        適用注射器規格

        250CC

        加熱溫度

        0-100

        線速度范圍

        5um/min-65um/min

        線速度調節分辨率

        5um/min

        zui大行程

        140mm

        行程分辨率

        0.156um

        額定線性推力

        >90N

         

        流量計

        控制氣體種類

        2

        氣體流速

        16-160mL/min

        豫公網安備 41019702002438號

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