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      2. 產品詳情
        • 產品名稱:三靶等離子濺射鍍膜儀(增強型)

        • 產品型號:CY-PSP180G-3TA-RSH
        • 產品廠商:成越科儀
        • 產品文檔:
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        簡單介紹:
        本型號小型等離子濺射儀,采用二級濺射方式,廣泛用于SEM樣品制備或金屬鍍膜試驗。采用低溫等離子體濺射工藝,鍍膜過程中無高溫,不易產生熱損傷。該小型等離子濺射儀使用PLC控制系統,全部觸摸屏操作,便于學習使用。本型號儀器還配有旋轉樣品臺,能夠有效的提升鍍膜的均勻性。(本設備配有旋轉加熱樣品臺,可以提升鍍膜的均勻性和薄膜的附著力)該小型等離子濺射儀使用PLC控制系統,全部觸摸屏操作,便于學習使用。設備體積小巧造型美觀,是實驗室鍍膜試驗的*佳選擇。
        詳情介紹:

        本型號小型等離子濺射儀,采用二級濺射方式,廣泛用于SEM樣品制備或金屬鍍膜試驗。采用低溫等離子體濺射工藝,鍍膜過程中無高溫,不易產生熱損傷。該小型等離子濺射儀使用PLC控制系統,全部觸摸屏操作,便于學習使用。本型號儀器還配有旋轉樣品臺,能夠有效的提升鍍膜的均勻性。(本設備配有旋轉加熱樣品臺,可以提升鍍膜的均勻性和薄膜的附著力)該小型等離子濺射儀使用PLC控制系統,全部觸摸屏操作,便于學習使用。

        技術參數:

        樣品

        尺寸

        100mm

        旋轉速度

        1~20rpm可調

        加熱溫度

        ≤500℃            

        控溫精度

        ±1℃   PID控溫 

        等離子濺射靶

        數量

        2英寸x3

        冷卻方式

        水冷

        真空腔體

        腔體尺寸

        φ180mm X 210mm    

        觀察窗口

        全向可視

        腔體材料

        高純石英

        開啟方式

        頂蓋拆卸式

        上下蓋材質

        304不銹鋼

        抽氣接口

        KF16

        進氣接口

        1/4英寸卡套接頭

        電源配置

        數量

        直流電源x1

        輸出功率

        *大150W

        濺射電源

        1200V

        *大濺射電流

        50mA

        真空系統

        真空泵類型

        雙極旋片真空泵

        抽氣接口

        KF16

        排氣接口

        KF16

        抽氣速率

        1.1L/s(4m3/h)

        極限真空度

        ≥0.1Pa

        真空測量

        電阻真空規

        其他

        供電電源

        AC 220V  50Hz

        整機功率

        2kW

        整機尺寸

        500mm X 320mm X470mm

        整機重量

        30kg


        豫公網安備 41019702002438號

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