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      2. 產品詳情
        • 產品名稱:1500℃單溫區3路質量供氣低真空CVD系統

        • 產品型號:CY-T1500-60IT-3Z-LV
        • 產品廠商:成越科儀
        • 產品文檔:
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        簡單介紹:
        1500℃單溫區3路質量供氣低真空CVD系統由1500℃單溫區管式爐、三路質量流量計和雙極旋片真空泵組成。管式爐由精密控溫儀表進行PID控溫,可編輯30段升降溫程序,同時有過熱和斷偶保護功能。1500℃單溫區3路質量供氣低真空CVD系統爐管兩側法蘭配有數字式真空計和機械式壓力表,可以用來控制爐管內的氣氛環境。
        詳情介紹:

        1500℃單溫區3路質量流量計低真空CVD系統管式爐采用高清真彩觸控屏操作,簡單易上手,即使是非專業人員經過簡單的培訓也可以熟練掌握儀器的使用方法,能夠極大的提高您的實驗效率。爐管采用高純氧化鋁制成,爐體采用一體式設計,獨特的設計能夠保證系統在1500℃運行穩定**,加熱元件采用高品質硅碳棒,能夠達到1500℃高溫,若客戶有需求可以定制硅鉬棒加熱元件以達到更高的1700℃高溫。系統所配有的三路質量流量計,精度高可靠性強,可以準確混合1~3路氣體,操作面板采用數字顯示,直觀高效。若客戶有特殊需要也可聯系技術人員定制任意數量的氣路。

        適用于高校、科研院所、工礦企業做高溫燒結、金屬退火、質量檢測等,尤其適合需要多種氣體混合的氣氛環境的CVD實驗。

        技術參數:

        產品型號

        CY-T1500-60IT

        爐管材質

        高純氧化鋁

        爐管直徑

        60mm(可選配50mm、80mm、100mm

        爐管長度

        1000mm

        爐膛長度

        400mm

        加熱區長

        300mm

        恒溫區長

        150mm

        工作溫度

        1450

        控溫精度

        ±1

        控溫模式

        30段或50段程序控溫

        顯示模式

        LCD

        密封方式

        304不銹鋼真空法蘭

        法蘭接口

        1/4英寸卡套接頭、KF16/25/40接頭

        可抽真空

        4.4E-3Pa

        供電電源

        AC:220V 50/60Hz

        產品型號

        CY-3Z

        氣體通道

        3通道

        測量部件

        氣體質量流量計

        測量量程

        A通道:0100SCCM    H2

        備注:如需其它量程或氣體種類,定貨時需要特別注明??筛鶕蛻舻木唧w要求來選配對應的氣體種類和量程的流量計。

        B通道:0300SCCM    N2

        C通道:0500SCCM    Ar

        測量精度

        ±1.0%F.S

        管道耐壓

        3MPa

        工作壓差

        50300KPa

        連接管道

        304不銹鋼

        控制閥門

        304不銹鋼針閥

        接口規格

        進氣口和出氣口為1/4英寸卡套接頭

        供電電源

        AC:220V 50/60Hz

        機械泵

        旋片泵

        抽氣速率

        1.1L/S

        排氣接口

        KF16

        真空測量

        電阻規

        極限真空

        1.0E-1Pa

        供電電源

        AC:220V 50/60Hz

        抽氣接口

        KF16


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